技术编号：26921705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。双层ito膜的led芯片结构技术领域.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种双层ito膜的led芯片结构。背景技术.发光二极管（led）是一种将电能转化为光能的固体发光器件，其中gan基的led芯片得到了长足的发展和应用。led芯片的发光单元具有n‑gan层、多量子阱层和p‑gan层，通常会通过刻蚀工艺将n‑gan层的一部分暴露于外部，在暴露于外部的p‑gan层和n‑gan层部分形成施加电流的电极结构。在p‑gan层上部形成发光区域，通常使用具有隧道结构的ito（氧化铟锡）作为透明电极层形...
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