技术编号：2692794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明背景技术 领域本发明涉及一种。背景技术 通常，为了制造偏振立方体或分束立方体，使具有涂层(例如介质堆)的棱镜与无涂层的棱镜光学接触(例如，胶合)。在使棱镜光学接触时必须考虑多个参数，以保证它们保持粘合，并且具有一定程度的光学相容性。相容要保证光在胶合表面之间传播时产生最少量的反射。对于为使用较短光波长〔例如，真空紫外(VUV)和深紫外(DUV)光〕的系统制造的立方体而言，粘接和反射问题更加常见。在用于VUV和DUV系统的立方体的情形中，由于性能原因，能...
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