双微镜旋转扫描器件的制作方法技术资料下载

技术编号:2693682

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双微镜旋转扫描器件[0001]本实用新型涉及一种用于旋转光学扫描的微机电系统器件,特别是基于双微镜组 合的旋转扫描器件。背景技术[0002]微型旋转光学扫描器件在光学内窥成像领域有很重要的应用。集成有微型旋转光 学扫描器件的成像探针可在人体各种直径的管道(如血管,消化道等)内完成360度圆周 扫描,从而获得二维横截面图像或三维螺旋扫描图像。[0003]通常,微型旋转光学扫描器件都采用基于压电或静电驱动原理的微型旋转电 机。其直径一般为4-5mm左右,但其长...
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