技术编号：2694022
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻机电子系统的整体布局的结构[0001]本实用新型属于光刻，涉及一种光刻机电子系统的整体布局的结构。背景技术[0002]光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。经常使用的基片为半导体晶圆或玻璃基片。[0003]电子系统实现光刻机的自动控制，主要包括光学焦距的自动控制、激光机能量的稳定控制，气动门的控制以及各种告警...
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