技术编号:26969984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及剥离液回收技术领域,具体为一种剥离液回收处理冷凝装置。背景技术.因为在印刷电路板、液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中,需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序,在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路,而当微电路形成后,就需要使用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去,现有的剥离液回收时由于废弃剥离液温度较高,需要对其进行冷却,为此,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置。实用新型内容.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置...
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