技术编号：2701145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种对准标记的成像和测量装置、曝光装置，对准标记的成像和测量装置包括相干光源，用于产生照射光；偏振分束器，将相干光源发射的照射光反射形成水平线偏振光；1/4波片，将入射的水平线偏振光转化为圆偏振光；第一凸镜单元，将圆偏振光聚焦在对准标记表面，圆偏振光在对准标记表面发生反射和衍射，形成零阶光和衍射光，零阶光和衍射光通过第一凸镜单元、1/4波片、偏振分束器传输；第二凸镜单元，将透过偏振分束器的零阶光和衍射光聚焦于成像单元上；相移单元，将透过第二凸镜单元的零阶光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。