技术编号：27016264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及具有透气罩的传感器装置及所属的制造方法。背景技术.传感器装置可以具有mems(微机电系统)结构，以检测物理量，例如压力、加速度、光、气体等。由传感器装置提供的测量结果可能以多种方式失真，例如由于在敏感的mems结构上有污物颗粒、或传感器装置的组件之间有热机械应力。传感器装置制造商一直致力于改善其产品。特别地，期望开发一种考虑到上述问题并提供改进的测量结果的传感器装置。还可能期望提供一种用于制造这种传感器装置的方法。发明内容.多个不同方面涉及传感器装置。传感器装置包括具有mems...
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