一种高通道无热型阵列波导光栅的awg制作方法技术资料下载

技术编号:2703073

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本发明公开了一种高通道无热型阵列波导光栅的AWG制作方法,包括以下步骤(1)组成曲线形AWG芯片;(2)将曲线形AWG芯片粘贴并固化在金属底座上;(3)将固化在夹层上的曲线形AWG芯片固定在芯片夹具上,进行紫外胶固化;(4)将固化在夹层上的曲线形AWG芯片沿分割线切割线割将AWG芯片切开成一个直线槽,将第二部分AWG芯片与基板粘接固定在一起;(5)将直线槽点上UV硅胶;(6)将螺杆安装在金属底座上,调节螺母使AWG中心波长为ITUT波长,打上螺纹胶;(7)...
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