技术编号：2709166
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种光刻装置(10)，包括抑制光刻装置(10)的结构元件(13)的运动的涡电流制动器(30，70)。涡电流制动器(30，70)包括以弧形布置设置的多个磁体以及分别布置在所述磁体中的相邻磁体之间的多个导电片(35，67)。磁体和导电片之间在要制动的方向上的相对运动在导电片中感应出涡电流。专利说明具有涡电流制动器的光刻装置[0001] 相关申请的交叉引用[0002] 本申请基于并要求于2012年2月20日提交的现有德国专利申请 No. 102012202553...
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