技术编号：27108244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及化工合成技术领域，具体涉及一种微电子用超纯氟化铵蚀刻液及其制备方法。背景技术.平板显示器包括等液晶显示器(lcd)、触摸屏(tp)、离子体显示器(pdp)及有机电致发光器(oled)。液晶显示装置由于提供基于卓越的分辨率的鲜明的影像、耗电少、可较薄地制作显示画面的特性，在平板显示装置中最受到关注。液晶显示装置使用于包括手机、笔记本型pc的移动用设备及电视。.在平板显示器的制备工艺过程中，需要使用玻璃基板。由于玻璃基板生产工艺的限制，生产出的玻璃基板较厚。为了进一步减轻显示器件的...
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