技术编号：2712099
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有四层石墨烯波导的光调制器，属于光电子。包括一个SOI光波导，其半导体光波导层上方具有相互重叠的第一脊部和第二脊部，在半导体光波导层与第一脊部之间具有两层石墨烯层，第一脊部和第二脊部之间也具有两层石墨烯，各功能层之间采用隔离介质进行隔离；半导体光波导层与第一脊部之间的一层石墨烯和第一脊部和第二脊部之间的一层石墨烯采用一个金属电极相连，半导体光波导层与第一脊部之间的另一层石墨烯和第一脊部和第二脊部之间的另一层石墨烯采用另一个金属电极相连。本发明具有体积更小...
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