技术编号：27130307
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及搬送车系统。背景技术.搬送车系统应用于半导体制造工厂等。搬送车系统通过空中搬送车来搬送容纳半导体晶圆的foup或容纳标线片的标线片盒等物品，并对处理装置的装载口等移载场所进行物品的移载。在这种搬送车系统中，移载场所沿着空中搬送车所行进的轨道的延伸方向配置有多个。空中搬送车沿着轨道行进，通过在停止于与移载场所对应的位置之后使保持物品的保持部升降来进行物品相对于移载场所的移载。另外，为了提高物品的搬送效率，提出了一种将轨道铺设成上下两层、并从在各轨道行进的空中搬送车对移载场所进行物品...
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