技术编号：2716687
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种真空机台的真空反应腔及真空机台，该真空反应腔包括反应腔体、承载基板、以及观测窗；该观测窗包括用于观测操作的透明观测玻璃以及用于扩大透明观测玻璃的观测视角的视角扩大部件。本发明还提供一种真空机台，本发明的真空机台的真空反应腔及真空机台易于观测操作，从而提高了生产效率，避免的产能浪费。专利说明一种真空机台的真空反应腔及真空机台 [0001]本发明涉及真空设备领域，特别是涉及一种真空机台的真空反应腔及真空机台。 背景技术 [0002]目前...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。