技术编号:27191985
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明的各种方面和实施方式涉及部件更换系统和部件更换装置。背景技术.在处理基片的处理装置的内部,存在随着进行基片的处理而消耗的消耗部件。这样的消耗部件在消耗量比预先设定的消耗量大的情况下,与使用前的消耗部件进行更换。在消耗部件的更换中,停止处理装置中的基片的处理,将处理装置的容器向大气开放。然后,用人手取出使用后的消耗部件,安装使用前的消耗部件。然后,再次关闭容器,将容器内抽真空,再次开始基片的处理。.如上所述,在消耗部件的更换中,处理装置的内部向大气开放,因此在更换消耗部件后处理装置内...
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