技术编号:27193713
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于生产成型设备技术领域,具体是一种半导体膜状扩散源收卷装置。背景技术.半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料,特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高,元件的尺寸越来越小,半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。.但是这种膜状扩散源的生产较为困难,目前没有公开的技术可以参考。在成膜后,需要平辊上的纸膜转移到卷辊上面,进行收卷烘干,在收卷的时候,经常发生卷纸膜松懈,褶皱的情况,实用新型内容.鉴于现有技术中存在的不足和缺陷,本实用新型的目...
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