技术编号：27213875
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种igzo薄膜晶体管及其制造方法技术领域.本发明主要涉及薄膜晶体管技术领域，特别是涉及一种创新型结构igzo薄膜晶体管。背景技术.非晶氧化物半导体铟镓锌氧(ɑ‑igzo)薄膜因具有柔性、透明以及大面积制造等特点备受学术界与产业界的广泛关注。基于igzo薄膜制备的晶体管具有高迁移率、高开关电流比、低关态漏电流等优点。以结构划分，传统igzo薄膜晶体管结构可分为顶栅共面、顶栅交错、底栅共面、底栅交错四种基础结构。在传统结构的基础上，根据实际应用需求衍生出多种新型结构。从年首次报道以来，...
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