技术编号:27353255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体加工技术领域,尤其是涉及一种半导体扩散设备的石英部件加工用定位装夹装置。背景技术.半导体石英产品是利用石英材料制备的半导体产品,例如:石英罩、石英管、石英舟等。.半导体石英产品在加工时一般采用装夹的方式,采用装夹的方式时,夹具夹持在半导体石英产品的外圆面上,只能对半导体石英产品的端面进行加工,在对半导体石英产品的外圆面进行加工时,夹具为对加工刀具产生阻碍,无法对外圆面进行加工。实用新型内容.为了在装夹半导体石英产品时能够对良好地对外圆面进行加工,本申请提供一种半导体扩散...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。