技术编号：2735698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法，属于集成电路光刻。本发明的特征在于在根据待光刻的图形线条的控制数据后，当光探针沿着主运动方向X作扫描曝光运动的时，辅以Y方向小幅振动型的步进幅值。所述的Y方向的小幅振动的振幅是根据图形线条的位置和宽度调整的。所述的Y方向的小幅振动的振幅是固定的。所述的图形是掩膜图形。它实现了预期目的。再见图2。光斑尺寸用方框大小为表示，白色方框表示材料未感光，黑色方框表示已感光。下面结合图2对工作流程做简单说明。现已...
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