技术编号：2737856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学类型图像测量设备，其测量样品，诸如机械 部件和半导体芯片。背景技术传统地，作为测量样品的工件的形状尺寸的测量设备，测量显微 镜或图像测量设备普及广泛。在这种测量设备中，放置在可水平移动 的平台上的样品被放大并且通过光学系统被投影到图像摄取设备，并 且，通过利用投影像被转换成的图像信号，来测量样品的表面形状、缺陷检查、坐标和尺寸。例如，日本专利特开No. 11-183124(专利文献 l)公开了这种测量设备。通常，测量设备包括透射照明和顶置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。