成膜装置及成膜方法技术资料下载

技术编号:2739872

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本发明涉及,特别是涉及使用了液滴喷出装置的 膜的处理装置(处理方法)。背景技术作为液滴喷出装置之一例的喷墨装置,是一种利用压电元件对压力室 进行加压,使其内部的液体(溶液)从压力室底部的喷嘴孔喷出的装置。 这样的喷墨装置,不仅应用于喷墨打印机,还在工业上被广泛应用于形成 显示装置的滤色器时的喷出等。在这样的工业性应用中,所喷出的液体涉及多种。因此,在所使用的 溶液之中,例如有的与空气中的氧进行反应致使液体质量劣化。例如,下述专利文献l公开了一种喷墨装置,如...
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