技术编号:27408156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种单晶炉用中轴护盘,属于单晶硅制备领域。背景技术.随着单晶行业的发展,大热场大投料量已成为行业的发展趋势。单晶炉中轴作为单晶热场的重要部件之一,主要用于支撑埚底、埚帮以及石英坩埚,随着热场尺寸的不断增大,中轴上部的部件的尺寸也在增大,重量也随之增加,因此中轴的安全性对于热场拉晶时的安全稳定运行至关重要。为保证拉晶安全,提高热场稳定性,亟需设计一种单晶炉用中轴护盘,有效提高中轴的使用安全性同时在降低热场功率,减少事故损失。实用新型内容.实用新型目的:本实用新型所要解决的技术...
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