技术编号：2741211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，更具体地说，本发明涉及一种适用于遮光材料、尤其是适用于光掩模的薄层金属膜 材料及其制造方法。背景技术近年来，在基材上的所期望的区域中形成有薄层金属膜的金属 膜材料在涉及金属配线、电极、磁性材料等多个领域中得到应用。此外，上述金属膜材料也可以用作光掩模。所谓光掩模，是指 采用光刻技术将在平板上形成的图案转印到其他的平板上时所用的 原版。以往的光掩模，采用的是铬白板或玻璃干版(该玻璃干版是在 玻璃支承物上涂覆卤化银乳剂得到照片感光材料而形成的)...
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