技术编号:27453647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及真空镀膜设备技术领域,具体地说,是一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置。背景技术.在真空镀膜环境中,有些基片是球面型的,常规镀膜伞以及平面行星工件架等夹具不能满足此类镀膜要求,不能将膜料均匀分布在所镀基片上;遂推出可调节斜面行星工件架专用夹具针对此类镀膜环境,从而拓宽真空镀膜的应用范围。.目前这个行业中,多为平面行星工件架和不可调斜面行星工件架(如申请号为:.此专利中的行星工件架),这个就限制了一套夹具的通用性,如果换一种镀膜产品,那与之对应的夹具甚...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。