技术编号：2751086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜的蒸镀装置，特别涉及具备离子枪和中和器的蒸镀装置、以及使 用该蒸镀装置的制造薄膜装置的方法。另外，在本说明书中，所谓电气悬浮是指与其它部件电绝缘的状态。 背景技术以往，在真空容器内向基板表面蒸发薄膜材料时，已知有通过向堆积在基板上的 蒸镀层照射离子来进行致密化的蒸镀装置(离子辅助蒸镀装置)。在这样的蒸镀装置中，利 用离子枪向基板照射较低能量的气体离子，同时利用中和器向基板照射中和电子(电子)， 由此可中和因气体离子导致的基板上的电荷的偏移，同...
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