技术编号：2752407
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于光成像组合物的共聚物。这些共聚物包含含氟醇或者含氟醇的保护官能团，以及来自包含含氟烷基或羟基取代烷基的丙烯酸酯单体的重复单元。已经发现这种基团可以提高所述共聚物和来自这种共聚物的光致抗蚀剂对半导体器件制造中所用基材的粘合性。所述共聚物尤其适用于UV透明度高的光致抗蚀剂组合物(尤其是在短波长下，例如193和157nm)。有关技术说明聚合物产物可以用作成像和光敏体系，尤其是光成像体系中的组分。在这种体系中，紫外光(UV)或其它电磁辐射照射在包含光...
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