技术编号：2756158
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，特别是一 种基于图像抖动原理，利用电子束光刻方法制作的光学三维测量用物理结构光栅，该光栅 包括三频三步相移九幅图，属于机械工程和光学测量。背景技术随着逆向工程技术的推展，三维测量技术得到工业界的普遍关注和广泛应用，并 成为逆向工程中关键的一环，而基于光学的三维轮廓测量技术在三维测量中发挥着越来越 重要的作用。在光学三维测量中，至少需要一个投影装置，如液晶投影仪，以及一个接收装 置，通常为CCD相机。由于光学三维测量技术对投影有着很高的要求，因此...
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