一种8吋晶圆盒自动解锁装置的制作方法技术资料下载

技术编号:27573830

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.本实用新型涉及半导体生产设备,尤其涉及一种吋晶圆盒自动解锁装置。背景技术.在一种晶圆片的生产过程中,常需要采用标准的封闭式箱体即晶圆盒对晶圆片进行储存,该晶圆盒设置有锁定结构,使用时采用解锁装置对其进行解锁,并采用取放设备将这些晶圆片在晶圆盒与加工装置之间移送,常用的解锁装置在取放时解锁不方便,容易发生故障,影响生产的顺利进行。因此,有必要对这种晶圆盒解锁装置进行结构优化,以克服上述缺陷。实用新型内容.本实用新型的目的是提供一种吋晶圆盒自动解锁装置,以便于对晶圆盒进行解锁操作。.本...
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