基于谐振腔阵列的集成单元的制作方法技术资料下载

技术编号:2761979

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本实用新型涉及一种用于波长选择的的具有多通道的微型谐振腔阵列结构,属于 集成光学。背景技术光微型谐振腔可以将满足其谐振条件的光波长产生谐振而加强。其基本结构包括 一个封闭的微型谐振腔波导和环波导旁边的一根或者两根总线波导。其中环波导可以是任 何形状的,圆、椭圆、跑道式;总线波导通常为直波导,作为输入输出的信道。用多个微型谐 振腔和多根输入输出波导可以对多个波长选择,而这种多个谐振腔和波导所组成的结构即 微型谐振腔阵列结构。在结构中,选择指定波长从那个方向那...
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