技术编号：2762070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种铌酸锂电光器件，尤其是一种能够在潮湿或低温环境下工作 并保持优异电光特性的具有保护层的铌酸锂电光器件。背景技术铌酸锂(LiNbO3)晶体是一种新型无机材料，其性质稳定，且具有非常优异的电光 特性。铌酸锂作为电光材料在光通讯中起到光调制作用，是制作电光器件的理想材料。铌 酸锂电光器件的制备方法通常是通过钛扩散或者退火质子交换的方法在靠近铌酸锂晶体 表面的铌酸锂晶体衬底中制作光波导，然后再采用蒸发、光刻、电镀、腐蚀等半导体工艺，在 波导附近制...
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