一种高精度光机扫描摆镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2763595

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本实用新型涉及光学机械扫描系统,特别是一种新型的用于图象扫描的高精度光机扫描摆镜。光机扫描装置,通常在采用单元或线阵探测器件的可见或红外成象系统中用来扩展视场。在这类装置中都有典型应用实例。其扫描方式可分为旋转镜和摆动镜两大类。早期结构均为旋转扫描,但其效率一般都比较低,结构尺寸大。近期逐渐采用摆动扫描,在结构上有如下多种方式。一是用电磁力驱动的方式,如摆角电机或音叉振动式的结构,但仅能驱动惯量小的摆镜,对于大惯量摆镜尚无法实现高频率线性驱动。再如电磁加速...
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