技术编号：2766451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造平面光波导的方法。平面光波导广泛用作光互连系统的无源器件。这种光波导与例如光纤一类的圆柱形介质波导不同，其截面基本上呈矩形。典型的平面光波导包括依次相叠的具有第一折射率的第一包层，具有高于第一折射率的第二折射率的导光芯子，以及覆盖在此芯子上、折射率也低于第二折射率的第二包层。早期的平面光波导是用具有第一折射率的基片作为第一包层来制造的。然而，近来的平面光波导则是把具有第一折射率的第一包层用在芯子和基片之间。这就可以在各种各样的基片上，无论是在...
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