表面声波装置的制作方法技术资料下载

技术编号:27677584

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.本发明涉及一种应用压电材料的装置,特别是涉及一种表面声波装置。背景技术.参阅图,一种早期的表面声波装置,包括一由具有压电效应的材料制成的压电层,与一设置在该压电层上且包括叉指电极(interdigital electrodes)的电极层。所述具有压电效应的材料举例来说能为钽酸锂(litao)或铌酸锂(linbo),具有较佳的机电耦合系数,然而美中不足的是温度稳定性较差,也就是晶格容易受到温度影响而膨胀或缩小传导波速亦容易受温度影响,进而影响到声波传递的频率。.参阅图,为了...
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