技术编号：2773023
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及准分子激光器，是一种用于改善准分子激光的光束质量的反射蝇眼式光束均匀器。背景技术准分子激光的光束均匀器的原理是将激光束分割成多个子光束，然后再重新叠加，从而使激光的光强在叠加面上得到平均，达到光束截面光强分布均匀性的改善。在先技术中，透射蝇眼式光束均匀器可以取得很好的效果，是目前激光光刻和微细加工中最为常用的光束均匀器。其加工方法，一种是采用光胶(发表在“中国激光”1999 Vol A26，No.6560～564)将两组垂直放置的柱透镜粘在一...
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