技术编号：2773514
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物和抗蚀图的形成方法。而且，本申请以日本专利申请特愿2002-355365为基础，并将其内容引入到了说明书中。背景技术 迄今为止，在玻璃基板上形成液晶显示部分的液晶显示元件(LCD)的制造中，从可以形成比较便宜的元件，或感光度，分辨率和形状优异的抗蚀图角度考虑，大多采用的是在半导体元件制造中使用的由酚醛清漆树脂—含有醌二叠氮基的化合物体系形成的正型光致抗蚀材料。在半导体元件制造中目前使用的是最大直径为8英寸(约200...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。