技术编号:2776126
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及正型感光性树脂组合物、采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法、采用该组合物的半导体装置及显示元件、以及该半导体装置及显示元件的制造方法。背景技术 此前,在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜中采用具有优良的耐热性、卓越的电学特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂,但是,近几年来随着半导体元件的高集成化、大型化、半导体装置的薄型化、小型化、采用熔焊的表面安装等的发展,对耐热循环性、耐热冲击性等特性有明显高的要求,所以,必须有更高性能的树脂。另一方面,具有赋予聚...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。