正型感光性树脂组合物、树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及其制造方法技术资料下载

技术编号:2776126

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本发明涉及正型感光性树脂组合物、采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法、采用该组合物的半导体装置及显示元件、以及该半导体装置及显示元件的制造方法。背景技术 此前,在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜中采用具有优良的耐热性、卓越的电学特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂,但是,近几年来随着半导体元件的高集成化、大型化、半导体装置的薄型化、小型化、采用熔焊的表面安装等的发展,对耐热循环性、耐热冲击性等特性有明显高的要求,所以,必须有更高性能的树脂。另一方面,具有赋予聚...
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