衍射光栅元件及其制造方法和设计方法技术资料下载

技术编号:2776648

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本发明涉及透过型衍射光栅元件、衍射光栅元件制造方法及衍射光栅元件的设计方法。背景技术 衍射光栅元件一般是在具有相互平行的第1面以及第2面的透明平板中在第1面形成了衍射光栅的元件(参照如小馆香椎子“衍射光学的发展和新进展”,日本女子大学纪要、理学部第10号pp7-24(2002))。在该衍射光栅元件中,例如,如果光以一定入射角从与第1面相接的介质入射到该第1面,则该光将被形成在第1面的衍射光栅衍射,通过透明平板的内部出射到与第2面相接的介质。从透明平板的第2...
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