技术编号：2776732
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种衍射光学元件，其允许激光束分支成多个光束并射向偏离于有规则地指定给图像平面的阵点的任何点，以及一种使用该衍射光学元件的激光加工装置，特别是用于电子零件的显微处理例如穿孔、熔接、焊接或表面处理的多点成批激光处理装置。背景技术 [专利参考文献1]日本专利发表2000-231012号，“设计衍射光学元件的方法”这是由本发明的发明者完成的早期发明之一。该申请提出一种具有分割激光束功能的衍射光学元件(DOE弗朗霍夫型)。该发明目的在于通过给固有窄的容...
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