技术编号：2782377
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及微机电系统(MEMS)。背景技术 微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器和电子设备。微机械元件可采用沉积、蚀刻及/或其它可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电气和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或二者全部或部分为透明和/或具反射性，且当施加适当电信号时能够相对移动。其中一个板可包含沉积在衬底上的静止层，而另一个板可包含一与所述静止层隔开一气...
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