宽频域的硅基微机械可调谐光滤波器的制作方法技术资料下载

技术编号:2783484

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本发明涉及一种宽频域可调谐光滤波器的制作方法,特别地涉及一种利用表面微机械工艺制作的。背景技术 随着互联网接入、高质量的图象传输、多媒体技术等对高速、大容量通讯网络的迫切需求,DWDM已经成为目前点对点网络中重要的技术,而更窄的频率间隔和更多的复用频道则一直是人们不懈的追求。实现密集波分复用(DWDM)的核心器件是复用器与解复用器(mux/demux),而50GHz的密集波分复用更要靠一种全新的器件Interleaver。可调谐滤波器的主要应用第一就是构成...
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