技术编号：2783895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学仪器。背景技术 在真空紫外、特别是软X射线波段，所有物质对光辐射都有强烈的吸收，传统的平面光栅光谱仪由于引入了准直镜和聚光镜，所以存在由准直镜和聚光镜造成的附加损失，这对于提高整个光谱仪系统的集光效率是不理想的。而凹面光栅则较为优越，由于凹面光栅具有自聚焦特性，在成像时不需要准直光学系统和聚焦光学系统即能形成谱线。然而，传统的凹面光栅存在严重的像差，在很大程度上降低了凹面光栅光谱仪的谱线质量，但是采用本发明的IV型消像差凹面全息光栅就可以解决...
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