傅立叶变换红外光谱干涉仪动镜的电磁悬浮和驱动装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2784329

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本实用新型涉及一种傅立叶变换红外光谱干涉仪,尤其是涉及一种利用电磁悬浮和驱动的傅立叶变换红外光谱干涉仪的动镜。背景技术在傅立叶变换(FT)红外(IR)光谱干涉仪中,其核心部分是迈克尔逊干涉仪,参见图1,它由光源1(根据仪器的不同可以是红外光源或激光光源,例如拉曼FT干涉仪光源为激光)、光接受传感器6、动镜4、固定镜2和分光镜3组成。其工作原理是利用动镜的扫描,对全波段的光谱进行调制,形成全波段干涉图。若将检测样本5放在光接受传感器6前,则光接受传感器6得到...
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