技术编号：2786937
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在液晶显示的滤色器的基片上形成透明导电膜的方法以及采用该方法形成的透明导电膜。背景技术 添加有锡的氧化铟膜(下面称为“ITO膜”)通常被用来作为在液晶显示的滤色器的基片上形成的优秀透明导电膜(透明电极膜)。已知的用于形成这种ITO膜的常规方法包括真空蒸发法，溅射法和RF(射频)离子镀膜法。为了获得高的分辨率和高的光透过率，彩色液晶显示的透明导电膜要求是薄的，另外，为了增加尺寸和提高响应速度，要求其具有低的电阻率和高的均匀性。采用上述方法的任一种，...
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