技术编号:27890210
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及抛光垫技术领域,具体为一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。背景技术.抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。.常见的抛光垫一般在整体柔韧性不高,导致装置不方便折叠收起、固定不稳定、不能两面打磨,不能满足抛光垫的工作要求,为此提出一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。实用新型内容.(一)解决的技术问题.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫,具备高效的整体柔韧性高,装置方便折叠收起、固定稳定、能两面打磨等优点,解决了现有的...
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