技术编号:27894263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及废气处理技术领域,尤其涉及一种循环水洗式的废气处理设备。背景技术.工艺废气处理设备既属于环保行业,又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中,其中的一些工艺流程模块如:化学气相沉淀、刻蚀、离子注入和扩散,以及非晶硅薄膜太阳能、液晶薄膜的工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后,以废气的形式被排放,其种类可分为:有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及全氟化合物与挥发性有机化合物类气体等,这些气体在排放前都必须经过无害化处理,使之符合国...
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