技术编号：2789894
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种用于面型测量的光学装置，该装置基于双频干涉原理进行点探测，通过多点探测，进而获得面型的测量装置；本发明还涉及采用上述装置进行面型测量的方法。背景技术光经过两种不同光学介质表面就会发生反射和折射，从波动光学的角度来看，也会影响光波的偏振态。所以光学部件的面型(包括轮廓以及表面精度)将会对反射光波和折射光波的偏振态造成重大影响，进而会影响包含该光学部件的光学系统的整体性能，因此需要研发出相应的技术来精确地测出光学器件的面型。现有技术中，对于光学...
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