自动光学检验设备及其校正方法技术资料下载

技术编号:2790066

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本发明是有关于一种自动光学检验设备,特别是有关于一种能降低整体流程的作业时间的。背景技术一般在液晶面板的制造过程中,需要使用自动光学检验(automatedoptical inspection, Α0Ι)设备对其中的玻璃基板进行检验。所述自动光学检验设备主要是利用光学装置取得玻璃基板表面影像,再利用电脑影像处理技术检查出异物或是图案异常等缺陷。请参考图1所示,图1为现有自动光学检验设备进行日常校正的流程图。进行日常校正时,自动光学检验设备必须先清空内部待检...
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