技术编号：2790240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光电子器件，尤其涉及一种高反射率高带宽的亚波长 光栅反射镜的制作方法。背景技术高反射率高带宽的反射镜在半导体光电器件中具有重要的应用，它是构建激光谐 振腔的必备元素。金属反射镜具有非常高的反射带宽，但是吸收损耗限制了它的应用。目前 布拉格反射镜作为一种高反射率反射镜，广泛应用于垂直腔面发射激光器中。由于布拉格 反射镜的反射率和带宽依赖于两种组成材料的折射率和每层厚度控制的精度。两种组成材 料的折射率差越大，布拉格反射镜的反射率和带宽越大。考...
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