技术编号：2791282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造设备，特别涉及一种工件台漏水保护装置。背景技术在大规模集成电路生产设备特别是光刻机中，各种器件集成度比较高，其中包括水、电等管线布置，尤其是在光刻机微动台中。请参看图1，图I为现有技术的光刻机微动台的结构示意图。如图I所示，微动台底板10上分布有电 机安装座11、冷却水管12、冷却水接头13、电气接头14、电气线缆15。由于光刻机效率的提高，微动台运动加速度、速度增大，容易造成水管接头松动而发生漏水现象，另外，水管接头及密封设施的老化也...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。