技术编号:27995459
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种末端执行器(end effector)测定模块以及利用该末端执行器测定模块的末端执行器监控装置,尤其涉及一种通过安装到晶圆从设备前端模块(efem)进入半导体工艺装置的供应口而对末端执行器的移动路径进行测定,并利用所测定的移动路径对末端执行器的扭曲进行监控的末端执行器测定模块以及利用上述末端执行器测定模块的末端执行器监控装置。背景技术.在一般的半导体制造工程中,为了提升收率或品质而在洁净的无尘室内执行晶圆处理。.而且,伴随着元件的高度集成化、电路的微型化以及晶圆的大型化...
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