技术编号：2802398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种可用于激光材料加工的扫描设备的F- Θ物镜。背景技术F- Θ物镜将以如下方式入射的激光束聚焦到一个平面的像场中，该激光束扫描相对于该F-θ物镜的光轴夹角为+/-Θ的一个扫描角度区域，其中在这个扫描角度区域里，扫描角度与在该像场中激光束入射点到光轴距离的比率遵循一个线性函数。即是说，以一个恒定角速度进行扫描的激光束在该像场中生成了一个以恒定速度移动的焦点。在此，这个焦点的尺寸在该像场中的每个位置都应是恒定不变的。这个焦点的尺寸是由激光材料加...
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